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幹式真空泵簡介

發布時間:2018-07-17 21:46:49 來源:admin
在近50年來,随着真空技術的研究與發展,在諸多行業、部門以及科研項目中的廣泛應用,例如冶金、機械、化工、石油、輕工、食品、交通運輸、環保、工業等,所需要的真空獲得設備的研究工作也已經是碩果累累。由于科學技術的進步和制造業技術的發展革新,以半導體、電子産品為代表工業生産制造技術也同樣産生了革新,在其先進的制造工藝中,需要要求沒有污染且真空度較高的清潔真空環境。所以,幹式真空泵便以其自身原理、結構、抽氣效率等各方面的突出優勢在諸多領域中均得到了廣泛認可,其中多級羅茨幹式真空泵便是這些領域中十分常用高效的真空獲得設備之一。
 
對于幹式真空泵可以從狹義與廣義兩個方面來進行定義。從狹義上講,幹式真空泵應該定義為:在抽氣流道内無任何液态工作介質或密封介質、排氣口與大氣相通可連續向大氣排氣、可在大氣壓至10Pa範圍内連續抽氣。從廣義上講,幹式真空泵是指在大氣壓到1x10-2Pa的壓力範圍内工作,在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類和密封液體,排氣口與大氣相通,能連續向大氣中排氣的泵,即稱為幹式真空泵。
 
幹式真空泵屬于氣體輸送泵,其中氣體輸送泵依據其工作原理不同,可以分為動量輸送式真空泵和容積式真空泵兩大類型。動量輸送式真空泵包括如渦輪泵和離心泵等。容積式幹式真空泵的工作原理是利用真空泵在工作過程中,泵腔内容積的周期性變化來實現其抽氣過程的。由于容積的工作原理不同,包括往複式真空泵和旋轉式真空泵。
 
其中旋轉式真空泵就包括現在正被廣泛認可、研發、和使用的幹式真空泵,其主要包括多級羅茨真空泵,多級活塞泵,爪型泵,螺杆泵,渦旋泵等。不同種類的幹式真空泵的工作特性、适用環境等都不盡相同。
 
幹式真空泵的應用範圍十分廣泛,這也主要由于其獨特的工作原理可以使其在工作過程中能夠清潔、高效地獲得所需要的真空環境。就其所被使用的行業不同,可以大體分為以下幾個方面:
 
a)低壓化學氣相沉積中的多晶矽制備工藝中;
 
b)半導體刻蝕工藝。在這些生産工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
 
c)除半導體工藝外的某些産生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用相應型式的幹式機械真空泵可以滿足要求。
 
幹式真空泵在設計結構上,通常為利用兩個或多個相互齧合轉子的齧合旋轉來實現其抽氣過程的。相互齧合的轉子與轉子之間均要存在特定的齧合間隙。因此在千式真空泵工作過程中,轉子之間沒有磨擦,旋轉工作平穩,産生的噪音低。該真空泵的泵腔内不需要油類等的工作介質,所以它能夠防止被抽容器被泵腔内返流出來的工作介質所污染。并且,其也避免了因為一些特殊加工生産中所使用的反應物質在抽氣過程中,與一些真空泵内的工作介質發生反應,緻使真空泵無法正常運轉抽氣的情況發生。
 
由于幹式真空泵自身的設計機理,其可以抽除鞋帶大量水蒸汽和少量粉塵的氣體。而且就旋轉容積式幹式真空泵而言,其抽氣過程中對泵腔内的氣體不存在壓縮作用,所以其可以用來抽出可凝性氣體等。并且,幹式真空泵的消耗功率更低,其所能夠達到的極限真空更高,具有節能,免維修等優點。曾經被廣泛使用的油封式真空泵已經逐漸被幹式真空泵所取代,并且應用範圍己經擴展到制藥、化工、航天、半導體等諸多行業。
 
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