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滑閥真空泵結構特點及發展概況

發布時間:2018-07-17 21:38:10 來源:admin
滑閥式真空泵是油封機械真空泵的一種。它屬于變容式的氣體傳輸泵。它可單獨使用獲得真空,也可作為羅茨真空泵、油增壓泵和油擴散泵的前級泵。
 
目前,滑閥泵有三種結構形式:(a)滑閥杆鉸接在滑閥環上;(b)滑閥杆與滑閥環做成一體;(c)行星式滑閥泵,行星式滑閥泵與體積和轉速相同的其他形式的滑閥泵相比,由于滑閥體尺寸較小,抽速較大。但由于滑閥杆擺動的幅度很大,這種結構隻适用于小型泵。在實際産品中,均采用以滑閥杆與滑閥環做成一體的結構。
 
滑閥泵由于其結構特點,容量比旋片泵大很多,因此常常被用在大型真空設備上。滑閥泵是旋轉式油泵中抽氣量最高的泵。這種泵适用于從容積大的真空密封容器内迅速抽除空氣和不與黑色金屬及真空油起反應的非凝結性氣體;但不适用于抽除含氧量過高、有爆炸性的、對金屬有腐蝕性的、對真空泵油起化學反應的以及含有顆粒粉塵的氣體。
 
滑閥泵有單級和雙級兩種形式,單級泵的極限壓力在0.6~1.3Pa(關氣鎮),雙級泵的極限壓力在0.06Pa。所謂雙級,就是在結構上将兩個單級泵串聯起來,與單級滑閥泵相比,它具有可以獲得較高的真空度,同時滑閥泵容量大,在與羅茨泵配置成機組後,可以使用在較低極限壓力又要求有一定抽速的場合等優點,因此雙級滑閥泵常使用在大型真空設備系統中,滿足需要穩定較大抽速和較高真空度的需求,這是單級滑閥泵很難達到的,雙級滑閥泵在這一領域具有很強的競争力。随着新能源研究、半導體行業、平闆玻璃鍍膜設備以及航天所需的真空模拟設備、低壓風洞裝置等真空應用的廣泛發展需要,對雙級滑閥泵的需求增加十分明顯。
 
近年來随着我國真空應用技術領域的擴大和我國國際交流的不斷擴大,各種真空獲得設備的發展非常迅速,國産真空泵已經在不同領域得到廣泛應用,不少泵還出口到國外,得到國外用戶的認可,有的還受到好評。目前全球真空泵市場銷售額據不完全統計約20億美元左右,且每年還以7%的速度在增長。全國生産滑閥泵的企業有幾十家,年産量約為5000台,主要集中在浙江、廣東、沈陽等地。因為滑閥式真空泵生産技術含量高,制造性能良好、振噪低的滑閥泵難度大,僅有美國K:INNEY,STOKES、英國GENERAL、德國LEYBOLD.HERAEUS、日本大阪真空株式會社等著名的滑閥泵生産公司能生産,其産品占領了全球滑閥泵市場主要份額。但是由于技術保護和商業利益等原因滑閥泵的研究和技術成果均未公開,且關于滑閥泵研究公開發表的外國論文也很少,相關産品專利也都在保密期未能公開,可以說多項關鍵技術幾乎被國外廠家分别擁有。最早生産滑閥泵的曆史最早可以追溯到1908年,美國KINNEY公司後來還首創了三缸平衡的滑閥真空泵。而國内生産滑閥泵均是在解放後上世紀五六十年代,比國外整整晚了五十年。由于國外公司對于産品結構不斷進行更新換代,其新一代的産品與我國目前生産的産品已經拉開了一定距離。
 
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