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螺杆真空泵發展概述

發布時間:2018-09-09 10:25:20 來源:admin
真空系統已經廣泛應用于鍍膜、光學、化工、醫療器械、核能、航空等科學領域和工業制造領域,真空系統的好壞直接決定着所生産産品的質量、精度和可靠性,科學研究結果的準确性和成功與否。真空獲得設備作為真空環境的動力源,相當于真空系統的“心髒”,直接影響着整個真空環境的穩定性、可靠性和其他性能。選擇真空獲得設備時需要考慮到真空獲得設備的适用工況、真空系統的真空度要求以及特殊氣體等諸多因素,隻有選擇合理的真空獲得設備才能保證真空系統正常運作。衆多真空獲得設備中幹式真空泵具有環保節能、穩定性高、泵腔内無油、結構緊湊等諸多優點,是真空獲得設備中重要的一類。其中幹式真空泵保證泵腔内無油或其他工作介質這一重要特點,解決了大多數真空獲得設備正常工作狀态下,泵腔内的潤滑油脂或其他工作介質由于返流和物理擴散進入所抽容積内,緻使真空室受到污染這一現象的發生,被廣泛運用于半導體、化工、藥品等工業制造領域。
 
1984年日本制造出第一台可運行的工業幹式泵,它是爪式泵和羅茨泵結合成的多級幹式泵,一定程度上保證了所抽容積清潔無油。至此以後因半導體和鍍膜等行業大量需求的原因,不同種類的無油真空泵飛速發展起來,陸續出現各種幹式真空泵,包括渦旋式泵、羅茨泵、螺杆真空泵等。目前為止,50%歐美半導體制造商将原有的真空機械泵換成幹式真空泵。其中幹式螺杆真空泵是由螺杆壓縮機演變而來,具有其他幹式真空泵不具備的優點,比如結構緊湊,抽氣範圍寬,抽速大,不産生廢液,所抽系統氣體潔淨等,這些優勢也保證了幹式螺杆真空泵在幹式泵中具有立足之地,如今螺杆真空泵大量應用于造紙、冶金、化工的制造行業。真空泵市場當中螺杆真空泵所占份額逐年上升,然而目前我國生産的螺杆真空泵主要面向低端市場,與高端螺杆真空泵産品仍有較大差距。
 
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